たなか　くにひと

田中 邦翁 准教授

Kunihito Tanaka

プラズマ化学：プラズマを用いた薄膜堆積、固体表面改質

所属領域：応用化学領域

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研究キーワード

プラズマ化学，　機能性薄膜，　固体表面改質，　プラズマ診断

担当科目

プラズマ科学（３年），　物質科学実験（3年），　電離気体反応論（大学院）

研究概要

　低圧下で発生するグロープラズマと同様の空間均一性と活性種密度を持つ、大気圧グロープラズマを用いた様々な応用研究を行っている。主なところでは、 ・無機系・有機系薄膜の堆積　：　粘着テープ用剥離剤への応用，吸湿性粉体の防湿用被膜形成など ・ポリマーフィルムの表面改質　：　PTFEの接着性改善など ・有機系汚染物質の除去　：　 である。上記以外にも、大気圧グロープラズマの様々な応用や基礎的な研究も行っている。